激光解键合步进补偿方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111035719.5

申请日：

2021-09-03

公开(公告)号：

CN113851411A

公开(公告)日：

2021-12-28

发明(设计)人：

李纪东张紫辰侯煜张昆鹏张喆张彪易飞跃杨顺凯

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院14号楼1层C区

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21683 H01L2167

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

苑晨超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-28	公开	公开
2022-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20210903

共 50 条

[1]

激光解键合步进补偿方法 [P].

李纪东 ;

张紫辰 ;

侯煜 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

张彪 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 .

中国专利 :CN113851411B ,2025-09-30

[2]

激光解键合方法 [P].

侯煜 ;

张紫辰 ;

李纪东 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

张彪 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 ;

李曼 .

中国专利 :CN113851412A ,2021-12-28

[3]

激光解键合方法 [P].

侯煜 ;

张紫辰 ;

李纪东 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

张彪 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 ;

李曼 .

中国专利 :CN113851412B ,2024-12-31

[4]

一种电磁场辅助激光解键合的方法 [P].

张国平 ;

王方成 ;

刘强 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN114582781A ,2022-06-03

[5]

晶粒键合设备和晶粒键合方法 [P].

胡庆云 ;

胡金 .

中国专利 :CN112563125A ,2021-03-26

[6]

激光玻璃的键合包边方法 [P].

唐景平 ;

孟涛 ;

何冬兵 ;

陈树彬 ;

王标 ;

李顺光 ;

胡丽丽 .

中国专利 :CN102875014B ,2013-01-16

[7]

激光玻璃低温键合包边方法 [P].

朱健强 ;

王冰艳 ;

尤科伟 ;

李海元 ;

熊怀 ;

陈知亚 ;

梁海荣 ;

张艳丽 .

中国专利 :CN105731831A ,2016-07-06

[8]

解键合的激光发生器位置确定方法 [P].

张彪 ;

李纪东 ;

张紫辰 ;

侯煜 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 .

中国专利 :CN113851413A ,2021-12-28

[9]

解键合的激光发生器位置确定方法 [P].

张彪 ;

李纪东 ;

张紫辰 ;

侯煜 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 .

中国专利 :CN113851413B ,2025-06-27

[10]

带有激光加热装置的超声键合机 [P].

宋勇飞 .

中国专利 :CN200981146Y ,2007-11-28

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