激光解键合方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111035720.8

申请日：

2021-09-03

公开(公告)号：

CN113851412A

公开(公告)日：

2021-12-28

发明(设计)人：

侯煜张紫辰李纪东张昆鹏张喆张彪易飞跃杨顺凯李曼

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院14号楼1层C区

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21683 H01L2167

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

苑晨超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-28	公开	公开
2022-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20210903

共 50 条

[1]

激光解键合方法 [P].

侯煜 ;

张紫辰 ;

李纪东 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

张彪 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 ;

李曼 .

中国专利 :CN113851412B ,2024-12-31

[2]

激光解键合方法 [P].

郭超 ;

冯策 .

中国专利 :CN118385776A ,2024-07-26

[3]

激光解键合方法 [P].

郭超 ;

冯策 .

中国专利 :CN118385776B ,2024-08-27

[4]

多层激光解键合方法 [P].

王奇彬 ;

吴培林 ;

姜峰 .

中国专利 :CN120413431A ,2025-08-01

[5]

激光解键合步进补偿方法 [P].

李纪东 ;

张紫辰 ;

侯煜 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

张彪 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 .

中国专利 :CN113851411B ,2025-09-30

[6]

激光解键合步进补偿方法 [P].

李纪东 ;

张紫辰 ;

侯煜 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

张彪 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 .

中国专利 :CN113851411A ,2021-12-28

[7]

一种激光解键合方法 [P].

李纪东 ;

张紫辰 ;

侯煜 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

张彪 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 .

中国专利 :CN113851414B ,2025-03-11

[8]

一种激光解键合方法 [P].

李纪东 ;

张紫辰 ;

侯煜 ;

张昆鹏 ;

张喆 ;

张彪 ;

易飞跃 ;

杨顺凯 .

中国专利 :CN113851414A ,2021-12-28

[9]

一种晶圆键合结构以及临时键合方法和激光解键合方法 [P].

张国平 ;

王方成 ;

刘强 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN117712068A ,2024-03-15

[10]

一种电磁场辅助激光解键合的方法 [P].

张国平 ;

王方成 ;

刘强 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN114582781A ,2022-06-03

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