用于对产品衬底进行涂层的方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480082811.9

申请日：

2014-11-05

公开(公告)号：

CN107078075A

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

C.塔纳

申请人：

申请人地址：

奥地利圣弗洛里安

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

胡莉莉;刘春元

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-18	公开	公开
2022-09-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20170818
2017-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20141105

共 50 条

[1]

对带状物的表面进行涂层的方法和装置 [P].

R·布里斯伯格 ;

W·特拉科夫斯基 .

中国专利 :CN1295373C ,2005-01-05

[2]

用于向衬底涂敷液体涂层材料的系统和方法 [P].

肯尼斯·S·埃斯本切德 ;

帕特里克·T·霍干 ;

乔治·克鲁兹 ;

大卫·鲁夫 .

中国专利 :CN101472834B ,2009-07-01

[3]

用于在衬底上涂敷涂层的方法和设备 [P].

罗斯塔·佩尔松 ;

埃里克·格林克斯 ;

简·杰多普特 .

中国专利 :CN101277769A ,2008-10-01

[4]

用于对空心体进行涂层的方法和设备 [P].

W·瓦格纳 ;

G·巴托洛米 ;

E·施赖埃尔 .

中国专利 :CN101553592A ,2009-10-07

[5]

用于为泵构件进行涂层的方法 [P].

B·维基达尔 .

中国专利 :CN105247103A ,2016-01-13

[6]

在基材上对涂层材料进行烧结、结晶和/或交联的方法 [P].

约亨·斯多雷威克 ;

多米尼克·哈维卡 ;

米利卡·马卡利卡 .

中国专利 :CN108699693A ,2018-10-23

[7]

用于间歇式涂层的方法和装置 [P].

P·沙佛 ;

M·施密特 ;

W·沙贝尔 ;

R·蒂姆 .

中国专利 :CN106575743A ,2017-04-19

[8]

用于对功能层进行加热的装置 [P].

多明戈·罗德 ;

何塞·曼努埃尔·卡塔拉-里维亚 .

中国专利 :CN106470767A ,2017-03-01

[9]

用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层 [P].

B·C·亨德里克斯 ;

D·W·彼得斯 ;

李卫民 ;

C·瓦尔德弗里德 ;

R·A·库克 ;

N·困达 ;

林奕宽 .

中国专利 :CN107615462A ,2018-01-19

[10]

用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层 [P].

B·C·亨德里克斯 ;

D·W·彼得斯 ;

李卫民 ;

C·瓦尔德弗里德 ;

R·A·库克 ;

N·困达 ;

林奕宽 .

中国专利 :CN113930746A ,2022-01-14

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