用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680018518.5

申请日：

2016-02-13

公开(公告)号：

CN107615462A

公开(公告)日：

2018-01-19

发明(设计)人：

B·C·亨德里克斯 D·W·彼得斯李卫民 C·瓦尔德弗里德 R·A·库克 N·困达林奕宽

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L2156

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

顾晨昕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/56 申请日:20160213
2018-01-19	公开	公开
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/56 申请公布日:20180119

共 50 条

[1]

用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层 [P].

B·C·亨德里克斯 ;

D·W·彼得斯 ;

李卫民 ;

C·瓦尔德弗里德 ;

R·A·库克 ;

N·困达 ;

林奕宽 .

中国专利 :CN113930746A ,2022-01-14

[2]

衬底部分上的复合原子层沉积ALD涂层及在衬底部分上形成经图案化ALD涂层的方法 [P].

B·C·亨德里克斯 ;

D·W·彼得斯 ;

李卫民 ;

C·瓦尔德弗里德 ;

R·A·库克 ;

N·困达 ;

林奕宽 .

中国专利 :CN109023303A ,2018-12-18

[3]

衬底部分上的复合原子层沉积ALD涂层及在衬底部分上形成经图案化ALD涂层的方法 [P].

B·C·亨德里克斯 ;

D·W·彼得斯 ;

李卫民 ;

C·瓦尔德弗里德 ;

R·A·库克 ;

N·困达 ;

林奕宽 .

中国专利 :CN111519166A ,2020-08-11

[4]

具有增强的滑动性质的涂层 [P].

J.拉姆 ;

F.赛贝特 ;

B.维德里希 .

中国专利 :CN104471101B ,2015-03-25

[5]

具有涂层的制品 [P].

R·W·苏格 ;

R·P·威尔特 ;

S·R·穆森三世 .

中国专利 :CN1151315C ,1999-04-28

[6]

具有涂层的制品 [P].

R·W·苏格 ;

R·P·威尔特 ;

S·R·穆森三世 .

中国专利 :CN1198962C ,1999-03-17

[7]

增强的玻璃衬底 [P].

F·里夫吉 ;

S·科哈 ;

D·祖西 .

中国专利 :CN1139914A ,1997-01-08

[8]

具有保留的光学性质的耐划痕制品 [P].

K·W·科齐三世 ;

C·A·保尔森 ;

J·J·普莱斯 .

中国专利 :CN105874356A ,2016-08-17

[9]

具有保留的光学性质的耐划痕制品 [P].

K·W·科齐三世 ;

C·A·保尔森 ;

J·J·普莱斯 .

中国专利 :CN107140827A ,2017-09-08

[10]

用于对产品衬底进行涂层的方法和装置 [P].

C.塔纳 .

中国专利 :CN107078075A ,2017-08-18

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