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用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111192285.X
申请日：
2016-02-13
公开(公告)号：
CN113930746A
公开(公告)日：
2022-01-14
发明(设计)人：
B·C·亨德里克斯 D·W·彼得斯 李卫民 C·瓦尔德弗里德 R·A·库克 N·困达 林奕宽
申请人：
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
C23C1640
IPC分类号：
C23C16455 C23C1604 C23C1656 H01L2167 B01D3920
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
李婷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-02-01 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/40 申请日:20160213
2022-01-14 公开 公开
共 50 条
[1]
用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层 [P]. 
B·C·亨德里克斯 ;
D·W·彼得斯 ;
李卫民 ;
C·瓦尔德弗里德 ;
R·A·库克 ;
N·困达 ;
林奕宽 .
中国专利 :CN107615462A ,2018-01-19
[2]
衬底部分上的复合原子层沉积ALD涂层及在衬底部分上形成经图案化ALD涂层的方法 [P]. 
B·C·亨德里克斯 ;
D·W·彼得斯 ;
李卫民 ;
C·瓦尔德弗里德 ;
R·A·库克 ;
N·困达 ;
林奕宽 .
中国专利 :CN109023303A ,2018-12-18
[3]
衬底部分上的复合原子层沉积ALD涂层及在衬底部分上形成经图案化ALD涂层的方法 [P]. 
B·C·亨德里克斯 ;
D·W·彼得斯 ;
李卫民 ;
C·瓦尔德弗里德 ;
R·A·库克 ;
N·困达 ;
林奕宽 .
中国专利 :CN111519166A ,2020-08-11
[4]
具有增强的滑动性质的涂层 [P]. 
J.拉姆 ;
F.赛贝特 ;
B.维德里希 .
中国专利 :CN104471101B ,2015-03-25
[5]
具有涂层的制品 [P]. 
R·W·苏格 ;
R·P·威尔特 ;
S·R·穆森三世 .
中国专利 :CN1151315C ,1999-04-28
[6]
具有涂层的制品 [P]. 
R·W·苏格 ;
R·P·威尔特 ;
S·R·穆森三世 .
中国专利 :CN1198962C ,1999-03-17
[7]
增强的玻璃衬底 [P]. 
F·里夫吉 ;
S·科哈 ;
D·祖西 .
中国专利 :CN1139914A ,1997-01-08
[8]
具有保留的光学性质的耐划痕制品 [P]. 
K·W·科齐三世 ;
C·A·保尔森 ;
J·J·普莱斯 .
中国专利 :CN105874356A ,2016-08-17
[9]
具有保留的光学性质的耐划痕制品 [P]. 
K·W·科齐三世 ;
C·A·保尔森 ;
J·J·普莱斯 .
中国专利 :CN107140827A ,2017-09-08
[10]
用于对产品衬底进行涂层的方法和装置 [P]. 
C.塔纳 .
中国专利 :CN107078075A ,2017-08-18
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