半导体器件及其形成方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510883147.4
申请日
2015-12-03
公开(公告)号
CN106847913A
公开(公告)日
2017-06-13
发明(设计)人
邓浩 陈志刚 黄涛
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号
H01L2978
IPC分类号
H01L21336 H01L29423
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
吴敏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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洪中山 .
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