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一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010106315.X
申请日：
2020-02-21
公开(公告)号：
CN111304592A
公开(公告)日：
2020-06-19
发明(设计)人：
郑沂
孙玉俊
申请人：
申请人地址：
351100 福建省莆田市涵江区涵中西路1号
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
代理机构：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219
代理人：
徐剑兵;张忠波
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20200221 |
| 2020-06-19 | 公开 | 公开 |