盐、光致抗蚀剂组合物及用于制备光致抗蚀剂图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210186846.X

申请日：

2012-06-07

公开(公告)号：

CN102816097A

公开(公告)日：

2012-12-12

发明(设计)人：

增山达郎向井优一

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C07C38112

IPC分类号：

C07C30910 C07C30332 C07D32110 G03F7004 G03F700

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

贺卫国

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101710178884 IPC(主分类):C07C 381/12 专利申请号:201210186846X 申请公布日:20121212
2012-12-12	公开	公开

共 50 条

[1]

盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

增山达郎 ;

向井优一 .

中国专利 :CN102952053A ,2013-03-06

[2]

盐，光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

安立由香子 ;

市川幸司 .

中国专利 :CN102731347A ,2012-10-17

[3]

光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

安立由香子 ;

藤田真吾 .

中国专利 :CN102749805A ,2012-10-24

[4]

盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

吉田勋 ;

向井优一 ;

市川幸司 .

中国专利 :CN102955359A ,2013-03-06

[5]

盐，光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

吉田勋 ;

山下裕子 .

中国专利 :CN102731346A ,2012-10-17

[6]

盐、光致抗蚀剂组合物和用于生产光致抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

向井优一 ;

吉田勋 .

中国专利 :CN102924341A ,2013-02-13

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

桥本和彦 ;

夏政焕 .

中国专利 :CN102053495A ,2011-05-11

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN102193313A ,2011-09-21

[9]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

坂本宏 ;

向井优一 .

中国专利 :CN102736417A ,2012-10-17

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

畑光宏 ;

增山达郎 .

中国专利 :CN101995769A ,2011-03-30

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