盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210297407.6

申请日：

2012-08-20

公开(公告)号：

CN102955359A

公开(公告)日：

2013-03-06

发明(设计)人：

吉田勋向井优一市川幸司

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F700 C07C38112 C07C30917 C07D30700 C07C30912 C07D32708 C07D33346 C07D33502

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

贺卫国

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101713442979 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2012102974076 申请公布日:20130306
2013-03-06	公开	公开

共 50 条

[1]

盐、光致抗蚀剂组合物和用于生产光致抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

向井优一 ;

吉田勋 .

中国专利 :CN102924341A ,2013-02-13

[2]

盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

增山达郎 ;

向井优一 .

中国专利 :CN102952053A ,2013-03-06

[3]

盐，光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

吉田勋 ;

山下裕子 .

中国专利 :CN102731346A ,2012-10-17

[4]

盐，光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

安立由香子 ;

市川幸司 .

中国专利 :CN102731347A ,2012-10-17

[5]

光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

安立由香子 ;

藤田真吾 .

中国专利 :CN102749805A ,2012-10-24

[6]

盐、光致抗蚀剂组合物及用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

增山达郎 ;

向井优一 .

中国专利 :CN102816097A ,2012-12-12

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

坂本宏 ;

向井优一 .

中国专利 :CN102736417A ,2012-10-17

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

桥本和彦 ;

夏政焕 .

中国专利 :CN102053495A ,2011-05-11

[9]

化合物、树脂、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

市川幸司 ;

吉田勋 .

中国专利 :CN102786419A ,2012-11-21

[10]

化学增幅型光致抗蚀剂组合物、光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

林敏映 ;

金智慧 ;

金容美 .

中国专利 :CN110325915B ,2019-10-11

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