晶圆盒载运系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721370897.2

申请日：

2017-10-23

公开(公告)号：

CN207602538U

公开(公告)日：

2018-07-10

发明(设计)人：

郑吉宸叶秀珢

申请人：

申请人地址：

中国台湾苗栗县

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446

代理人：

武玉琴;王月春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒载运装置及晶圆盒载运设备 [P].

古伊钧 ;

林祺浩 ;

吕思纬 ;

陈荣哲 ;

蔡佳棋 ;

李旻哲 ;

曹仁杰 .

中国专利 :CN208507641U ,2019-02-15

[2]

晶圆载运装置 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN214428610U ,2021-10-19

[3]

晶圆载运装置 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN216333428U ,2022-04-19

[4]

晶圆载运装置 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN214493915U ,2021-10-26

[5]

晶圆载运装置 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN214824973U ,2021-11-23

[6]

晶圆载运设备 [P].

古伊钧 ;

许圣奇 ;

陈勇州 .

中国专利 :CN209496839U ,2019-10-15

[7]

吹气装置及晶圆盒载运设备 [P].

陈勇州 ;

古伊钧 ;

郭孟轩 .

中国专利 :CN208674087U ,2019-03-29

[8]

晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统 [P].

吴健健 ;

朱瑜杰 ;

许晓世 .

中国专利 :CN206639779U ,2017-11-14

[9]

一种洁净式晶圆载运盒 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 .

中国专利 :CN221606413U ,2024-08-27

[10]

气帘装置及晶圆盒载运设备 [P].

郑吉宸 ;

叶秀珢 .

中国专利 :CN208062035U ,2018-11-06

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