晶圆盒载运装置及晶圆盒载运设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821137524.5

申请日：

2018-07-18

公开(公告)号：

CN208507641U

公开(公告)日：

2019-02-15

发明(设计)人：

古伊钧林祺浩吕思纬陈荣哲蔡佳棋李旻哲曹仁杰

申请人：

申请人地址：

中国台湾苗栗县

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446

代理人：

冷文燕;武玉琴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒载运系统 [P].

郑吉宸 ;

叶秀珢 .

中国专利 :CN207602538U ,2018-07-10

[2]

吹气装置及晶圆盒载运设备 [P].

陈勇州 ;

古伊钧 ;

郭孟轩 .

中国专利 :CN208674087U ,2019-03-29

[3]

气帘装置及晶圆盒载运设备 [P].

郑吉宸 ;

叶秀珢 .

中国专利 :CN208062035U ,2018-11-06

[4]

晶圆载运装置 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN214428610U ,2021-10-19

[5]

晶圆载运装置 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN216333428U ,2022-04-19

[6]

晶圆载运装置 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN214493915U ,2021-10-26

[7]

晶圆载运装置 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN214824973U ,2021-11-23

[8]

一种洁净式晶圆载运盒 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 .

中国专利 :CN221606413U ,2024-08-27

[9]

晶圆盒底盘及晶圆盒 [P].

董健 ;

陈思安 ;

张珏 ;

姚笛 .

中国专利 :CN206976306U ,2018-02-06

[10]

晶圆盒锁定装置及晶圆盒 [P].

杨文卿 ;

于佩玉 ;

张宁 .

中国专利 :CN220474588U ,2024-02-09

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