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晶圆载运装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120815765.6
申请日：
2021-04-20
公开(公告)号：
CN214824973U
公开(公告)日：
2021-11-23
发明(设计)人：
邱摩西
刘汝拯
陈松平
何江波
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街1号1栋厂房401、501，4栋厂房201、301，第五栋501、601及12号4栋101-501，5栋101-301
IPC主分类号：
B65D636
IPC分类号：
B65D2510
B65D21032
代理机构：
深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314
代理人：
方媛葶
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-23 | 授权 | 授权 |