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一种晶圆载运装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021939028.9
申请日：
2020-09-04
公开(公告)号：
CN213650253U
公开(公告)日：
2021-07-09
发明(设计)人：
邱摩西
何江波
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街1号1栋厂房101-301，2栋厂房101-501，3栋厂房101-501，4栋厂房101、401、501，第五栋101-401、701-801及12号1栋，2栋，3栋
IPC主分类号：
B65D804
IPC分类号：
B65D2510
代理机构：
深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314
代理人：
林俭良
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-09 | 授权 | 授权 |