一种晶圆切割自动装夹装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921762350.6

申请日：

2019-10-21

公开(公告)号：

CN211518098U

公开(公告)日：

2020-09-18

发明(设计)人：

陆孙华

申请人：

申请人地址：

215228 江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房

IPC主分类号：

B28D500

IPC分类号：

B28D704 B28D700 H01L2167 H01L21677

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

吴东勤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-18	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆切割自动装夹装置 [P].

邹武兵 ;

张德安 ;

段家露 ;

曾波 ;

余猛 .

中国专利 :CN204045560U ,2014-12-24

[2]

晶圆切割自动装夹装置 [P].

殷泽安 .

中国专利 :CN216597545U ,2022-05-24

[3]

一种激光晶圆切割自动装夹装置 [P].

巩铁建 ;

陶为银 .

中国专利 :CN213470018U ,2021-06-18

[4]

一种晶圆装夹装置 [P].

王全召 ;

韩森 ;

庄松林 ;

庄锦程 ;

张思晶 ;

张凌华 ;

祝永进 ;

俞大海 .

中国专利 :CN214818007U ,2021-11-23

[5]

一种晶圆切割机的装夹装置 [P].

李志卫 ;

张仕俊 ;

石正娟 .

中国专利 :CN211389627U ,2020-09-01

[6]

一种圆刀装夹装置 [P].

马向英 .

中国专利 :CN203578912U ,2014-05-07

[7]

一种激光晶圆切割装置 [P].

张少波 .

中国专利 :CN207577693U ,2018-07-06

[8]

一种激光晶圆切割装置 [P].

陆孙华 .

中国专利 :CN211162433U ,2020-08-04

[9]

用于晶圆切割机的装夹装置 [P].

李志卫 .

中国专利 :CN222819284U ,2025-05-02

[10]

一种芯片晶圆自动装夹装置 [P].

任晓伟 .

中国专利 :CN213340334U ,2021-06-01

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