一种激光晶圆切割装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921763928.X

申请日：

2019-10-21

公开(公告)号：

CN211162433U

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

陆孙华

申请人：

申请人地址：

215228 江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房

IPC主分类号：

B23K2638

IPC分类号：

B23K2670

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

吴东勤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种激光晶圆切割装置 [P].

张少波 .

中国专利 :CN207577693U ,2018-07-06

[2]

一种晶圆片激光切割装置 [P].

何建军 ;

沈桂英 ;

赵有文 .

中国专利 :CN218016382U ,2022-12-13

[3]

一种晶圆片的激光切割装置 [P].

陈义红 ;

李贵林 ;

陈聪 ;

李陵江 .

中国专利 :CN209919117U ,2020-01-10

[4]

一种晶圆激光切割对准装置 [P].

巩铁建 ;

陶为银 .

中国专利 :CN213053340U ,2021-04-27

[5]

一种晶圆用激光切割装置 [P].

锁珍 .

中国专利 :CN215966949U ,2022-03-08

[6]

一种硅晶圆激光切割装置 [P].

廖海涛 .

中国专利 :CN210306302U ,2020-04-14

[7]

一种晶圆片激光切割装置 [P].

卢凯 ;

韦胜 ;

盛育 .

中国专利 :CN213497235U ,2021-06-22

[8]

一种晶圆切割装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204504515U ,2015-07-29

[9]

一种晶圆切割装置 [P].

徐晶骥 ;

刘美交 .

中国专利 :CN220278589U ,2024-01-02

[10]

一种布料模板激光切割装置 [P].

王国军 ;

青军 ;

周国培 ;

喻量 .

中国专利 :CN209969892U ,2020-01-21

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