基板的处理装置及处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710108758.7

申请日：

2007-05-31

公开(公告)号：

CN101083206B

公开(公告)日：

2007-12-05

发明(设计)人：

今冈裕一

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2167 H01L21677 G02F11333

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

陈建全

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-12-05	公开	公开
2012-01-25	授权	授权
2009-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板的处理装置及处理方法 [P].

今冈裕一 ;

矶明典 .

中国专利 :CN1853799A ,2006-11-01

[2]

基板处理装置及基板的处理方法 [P].

神谷将也 ;

出村健介 ;

中村聪 .

日本专利 :CN120854320A ,2025-10-28

[3]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

大宅宗明 ;

北村翔也 .

日本专利 :CN117393462A ,2024-01-12

[4]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119381291B ,2025-11-25

[5]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

伊藤明 ;

永井泰彦 ;

秋山刚志 ;

山本滋 ;

岩田敬次 .

日本专利 :CN119673798A ,2025-03-21

[6]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

安陪裕滋 .

中国专利 :CN111715473B ,2020-09-29

[7]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

尾辻正幸 .

中国专利 :CN107437516A ,2017-12-05

[8]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

宫崎邦浩 ;

南健治 ;

长岛裕次 ;

林航之介 .

中国专利 :CN108461427A ,2018-08-28

[9]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

佐佐木悠太 ;

塙洋祐 .

中国专利 :CN108242416A ,2018-07-03

[10]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

太田乔 ;

林昌之 ;

奥田次郎 ;

中岛章宏 .

中国专利 :CN108630568B ,2018-10-09

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