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基板处理装置及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411238696.1
申请日：
2024-09-04
公开(公告)号：
CN119381291B
公开(公告)日：
2025-11-25
发明(设计)人：
深泽孝之
申请人：
深圳市昇维旭技术有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区新源三巷1号B栋104
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
深圳市联鼎知识产权代理有限公司 44232
代理人：
刘抗美
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-25 | 授权 | 授权 |
| 2025-02-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240904 |
| 2025-01-28 | 公开 | 公开 |