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基板处理方法及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680044083.1
申请日：
2016-07-05
公开(公告)号：
CN107851571B
公开(公告)日：
2018-03-27
发明(设计)人：
尾辻正幸
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
向勇;宋晓宝
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-03-27 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-24 | 授权 | 授权 |
| 2018-04-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20160705 |