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基板处理方法及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010406079.3
申请日：
2020-05-14
公开(公告)号：
CN111952218A
公开(公告)日：
2020-11-17
发明(设计)人：
梁承太
郑富荣
朴贵秀
李在洪
金昊永
郑允硕
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
王皓
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-17 | 公开 | 公开 |
| 2021-10-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200514 |