共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板处理装置及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380064045.2
申请日：
2023-06-30
公开(公告)号：
CN119836685A
公开(公告)日：
2025-04-15
发明(设计)人：
玄俊镇
赵柱铉
徐教诚
陈容擢
申请人：
株式会社EUGENE科技
申请人地址：
韩国京畿道龙仁市处仁区阳智面秋溪路42
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
G06N20/00
代理机构：
北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456
代理人：
许玉顺
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230630 |
| 2025-04-15 | 公开 | 公开 |