基板处理装置及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310058542.X

申请日：

2013-02-25

公开(公告)号：

CN103295936A

公开(公告)日：

2013-09-11

发明(设计)人：

根来世村元僚林豊秀桥本光治永井泰彦

申请人：

申请人地址：

日本国京都府京都市

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

董雅会;郭晓东

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-11	公开	公开
2015-01-14	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101709899845 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201310058542X 变更事项:申请人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本国京都府京都市变更后:日本国京都府京都市
2013-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101529125936 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201310058542X 申请日:20130225
2016-01-13	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

朴美昭 ;

李龙熙 ;

尹堵铉 .

中国专利 :CN113921422A ,2022-01-11

[2]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119381291B ,2025-11-25

[3]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119381291A ,2025-01-28

[4]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

松下淳 ;

长岛裕次 ;

土持鹰彬 ;

秋本纱希 ;

林航之介 .

中国专利 :CN111710624A ,2020-09-25

[5]

基板处理方法及基板处理装置 [P].

奥谷学 ;

阿部博史 .

中国专利 :CN110098137A ,2019-08-06

[6]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

刘宰承 ;

严成勋 ;

安熙满 ;

宋京院 ;

宣救援 ;

安率 .

韩国专利 :CN119673810A ,2025-03-21

[7]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

玄俊镇 ;

赵柱铉 ;

徐教诚 ;

陈容擢 .

韩国专利 :CN119836685A ,2025-04-15

[8]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

古矢正明 ;

森秀树 .

中国专利 :CN106876300A ,2017-06-20

[9]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

松下淳 ;

长岛裕次 ;

土持鹰彬 ;

秋本纱希 ;

林航之介 .

日本专利 :CN111710624B ,2024-07-26

[10]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

岩田敬次 ;

森田明 ;

高桥朋宏 ;

枝光建治 ;

杉冈真治 .

日本专利 :CN112017997B ,2024-03-22

← 1 2 3 4 5 →