基板处理装置及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010189477.4

申请日：

2020-03-18

公开(公告)号：

CN111710624A

公开(公告)日：

2020-09-25

发明(设计)人：

松下淳长岛裕次土持鹰彬秋本纱希林航之介

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21306

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

刘英华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200318
2020-09-25	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

松下淳 ;

长岛裕次 ;

土持鹰彬 ;

秋本纱希 ;

林航之介 .

日本专利 :CN111710624B ,2024-07-26

[2]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

根本悠平 ;

林航之介 ;

长岛裕次 ;

秋本纱希 ;

松下淳 .

中国专利 :CN111710625A ,2020-09-25

[3]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

松下淳 ;

长岛裕次 ;

秋本纱希 .

中国专利 :CN111710626A ,2020-09-25

[4]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

根本悠平 ;

林航之介 ;

长岛裕次 ;

秋本纱希 ;

松下淳 .

日本专利 :CN111710625B ,2024-07-23

[5]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

松下淳 ;

长岛裕次 ;

秋本纱希 .

日本专利 :CN111710626B ,2024-07-23

[6]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

朴美昭 ;

李龙熙 ;

尹堵铉 .

中国专利 :CN113921422A ,2022-01-11

[7]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

根来世 ;

村元僚 ;

林豊秀 ;

桥本光治 ;

永井泰彦 .

中国专利 :CN103295936A ,2013-09-11

[8]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119381291B ,2025-11-25

[9]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

安陪裕滋 .

中国专利 :CN111715473B ,2020-09-29

[10]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119381291A ,2025-01-28

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