一种离子源维护装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520501442.4

申请日：

2015-07-10

公开(公告)号：

CN204898057U

公开(公告)日：

2015-12-23

发明(设计)人：

闫宗楷向勇徐子明

申请人：

申请人地址：

315040 浙江省宁波市高新区聚贤路1299号

IPC主分类号：

C23C1446

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

朱俊跃

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-23	授权	授权
2017-12-12	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):C23C 14/46 申请日:20150710 授权公告日:20151223 放弃生效日:20171212

共 50 条

[1]

一种离子源维护装置及离子源维护方法 [P].

闫宗楷 ;

向勇 ;

徐子明 .

中国专利 :CN104988467B ,2015-10-21

[2]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 ;

曾文华 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN306231123S ,2020-12-15

[3]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN307776281S ,2023-01-06

[4]

条形射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN307027515S ,2021-12-24

[5]

一种射频离子源装置 [P].

杨彦章 ;

于非非 .

中国专利 :CN220420524U ,2024-01-30

[6]

一种射频离子源装置 [P].

陈晓东 .

中国专利 :CN210467753U ,2020-05-05

[7]

一种射频离子源装置 [P].

董所涛 ;

陈靖玉 .

中国专利 :CN221747151U ,2024-09-20

[8]

一种离子源外壳及离子源 [P].

张海飞 ;

范文明 ;

卓永生 ;

刘家湛 .

中国专利 :CN223108838U ,2025-07-15

[9]

一种内置天线射频离子源 [P].

蒋才超 ;

李军 ;

胡纯栋 ;

谢亚红 ;

吴斌 ;

赵鹏 ;

刘胜 ;

韦江龙 ;

顾玉明 ;

刘玲 ;

王进芳 .

中国专利 :CN206075824U ,2017-04-05

[10]

一种离子源装置 [P].

纪海涛 .

中国专利 :CN218123008U ,2022-12-23

← 1 2 3 4 5 →