一种射频离子源装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921356401.5

申请日：

2019-08-20

公开(公告)号：

CN210467753U

公开(公告)日：

2020-05-05

发明(设计)人：

陈晓东

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村

IPC主分类号：

H01J2716

IPC分类号：

H01J4910

代理机构：

常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325

代理人：

周颖洁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电离效果稳定的射频离子源中和器 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

陈蓓丽 .

中国专利 :CN206834151U ,2018-01-02

[2]

一种电离效果稳定的射频离子源中和器 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

陈蓓丽 .

中国专利 :CN106941066A ,2017-07-11

[3]

射频离子源系统及离子源设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 ;

曾文华 ;

刘运鸿 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN210866112U ,2020-06-26

[4]

射频离子源 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN215771057U ,2022-02-08

[5]

一种射频线圈位置可调整的射频离子源 [P].

陈晓东 .

中国专利 :CN210223933U ,2020-03-31

[6]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

郑培鑫 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN221264042U ,2024-07-02

[7]

一种射频离子源装置 [P].

杨彦章 ;

于非非 .

中国专利 :CN220420524U ,2024-01-30

[8]

一种射频离子源装置 [P].

董所涛 ;

陈靖玉 .

中国专利 :CN221747151U ,2024-09-20

[9]

一种射频离子源 [P].

施春燕 .

中国专利 :CN209811889U ,2019-12-20

[10]

一种射频离子源 [P].

刘东平 ;

杨德明 ;

范红玉 .

中国专利 :CN103269557A ,2013-08-28

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