一种离子源维护装置及离子源维护方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510408020.7

申请日：

2015-07-10

公开(公告)号：

CN104988467B

公开(公告)日：

2015-10-21

发明(设计)人：

闫宗楷向勇徐子明

申请人：

申请人地址：

315040 浙江省宁波市高新区聚贤路1299号

IPC主分类号：

C23C1446

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

朱俊跃

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633534374 IPC(主分类):C23C 14/46 专利申请号:2015104080207 申请日:20150710
2015-10-21	公开	公开
2019-07-19	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/46 变更事项:专利权人变更前:宁波英飞迈材料科技有限公司变更后:宁波星河材料科技有限公司变更事项:地址变更前:315040 浙江省宁波市高新区聚贤路1299号变更后:315000 浙江省宁波市高新区宁波新材料创新中心东区1幢1号10-4-1
2017-12-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种离子源维护装置 [P].

闫宗楷 ;

向勇 ;

徐子明 .

中国专利 :CN204898057U ,2015-12-23

[2]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 ;

曾文华 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN306231123S ,2020-12-15

[3]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN307776281S ,2023-01-06

[4]

条形射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN307027515S ,2021-12-24

[5]

斯特万·巴伊奇 ;

大卫·S.·杜斯 .

中国专利 :CN111448639A ,2020-07-24

[6]

射频离子源系统及离子源设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 ;

曾文华 ;

刘运鸿 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN210866112U ,2020-06-26

[7]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549B ,2024-02-20

[8]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549A ,2022-04-08

[9]

射频离子源 [P].

M·L·朗福德 ;

S·N·凯恩斯 ;

A·J·马 ;

I·B·普利桑茨 .

中国专利 :CN1529898A ,2004-09-15

[10]

离子源及质谱仪 [P].

陈应庄 ;

周聪 .

中国专利 :CN118522627A ,2024-08-20

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