一种制备大尺寸高纯钨钛合金靶材的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610473417.9

申请日：

2016-06-24

公开(公告)号：

CN105986160A

公开(公告)日：

2016-10-05

发明(设计)人：

张俊敏闻明王传军谭志龙沈月毕珺管伟明易伟

申请人：

申请人地址：

650106 云南省昆明市高新技术开发区科技路988号（昆明贵金属研究所)

IPC主分类号：

C22C2704

IPC分类号：

C22C104 C23C1434 B22F922 B22F314 B22F102 B22F908 B22F315

代理机构：

昆明今威专利商标代理有限公司 53115

代理人：

赛晓刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-05	公开	公开
2016-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101689602520 IPC(主分类):C22C 27/04 专利申请号:2016104734179 申请日:20160624
2018-07-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C22C 27/04 申请公布日:20161005

共 50 条

[1]

钨钛合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

吴东青 .

中国专利 :CN111151763A ,2020-05-15

[2]

一种钨钛合金靶材的制备方法 [P].

程少磊 ;

马国成 ;

欧海玲 ;

庄成康 ;

徐铸 ;

童培云 .

中国专利 :CN114309609A ,2022-04-12

[3]

一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法 [P].

孙虎民 ;

赵文普 ;

陈亚光 ;

高建杰 .

中国专利 :CN105568236B ,2016-05-11

[4]

一种钨钛合金靶材及其制备方法、应用 [P].

蔡新志 ;

童培云 ;

朱刘 ;

曾成亮 .

中国专利 :CN113579233A ,2021-11-02

[5]

一种钨钛合金靶材的制备方法及应用 [P].

许彦亭 ;

闻明 ;

赵琪 ;

沈月 ;

王传军 ;

施晨琦 ;

陈静洪 ;

李治东 .

中国专利 :CN119144924A ,2024-12-17

[6]

一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法 [P].

曲选辉 ;

李星宇 ;

章林 ;

熊宁 ;

刘国辉 ;

秦明礼 ;

陈刚 ;

张百成 ;

王广达 ;

魏子晨 ;

阙忠游 ;

杨军军 .

中国专利 :CN114619038A ,2022-06-14

[7]

钨钛合金靶材焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN101972875A ,2011-02-16

[8]

一种大尺寸高纯铜平面靶材的制备方法 [P].

高建杰 ;

崔冬乐 ;

孔雪 ;

孙虎民 .

中国专利 :CN105887028A ,2016-08-24

[9]

一种大尺寸旋转钨钛合金靶材的梯度烧结及其制备方法和在半导体镀膜中的应用 [P].

周志宏 ;

周昭宇 ;

刘青雄 .

中国专利 :CN121156274A ,2025-12-19

[10]

一种大尺寸高纯钨靶材及其生产方法 [P].

魏修宇 ;

黄江波 ;

龙坚战 ;

张外平 ;

李光宗 ;

夏艳成 ;

常理 ;

宋立强 .

中国专利 :CN103805952A ,2014-05-21

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