一种大尺寸高纯钨靶材及其生产方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310670912.5

申请日：

2013-12-12

公开(公告)号：

CN103805952A

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

魏修宇黄江波龙坚战张外平李光宗夏艳成常理宋立强

申请人：

申请人地址：

412000 湖南省株洲市荷塘区钻石路288号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22F118

代理机构：

长沙永星专利商标事务所 43001

代理人：

周咏;米中业

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583099398 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2013106709125 申请日:20131212
2016-05-18	授权	授权
2014-05-21	公开	公开

共 50 条

[1]

一种大尺寸钨合金靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

周敏 ;

王巨宝 ;

王科 .

中国专利 :CN121223077A ,2025-12-30

[2]

一种制备大尺寸高纯钨钛合金靶材的方法 [P].

张俊敏 ;

闻明 ;

王传军 ;

谭志龙 ;

沈月 ;

毕珺 ;

管伟明 ;

易伟 .

中国专利 :CN105986160A ,2016-10-05

[3]

一种半导体用高纯钨靶材及其制备方法 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

廣田二郎 ;

中村晃 ;

林智行 ;

山田浩 .

中国专利 :CN112126902A ,2020-12-25

[4]

一种高纯钨靶材的制备方法 [P].

王亚峰 ;

王占卫 ;

彭立培 ;

冀延治 ;

冀嘉梁 ;

林坤 ;

王志民 ;

冯海波 .

中国专利 :CN114457319A ,2022-05-10

[5]

大尺寸AZO靶材及其制备方法 [P].

周静茹 ;

陈曦 ;

李光旭 ;

李帅 ;

余芳 ;

蔡新志 .

中国专利 :CN119735435A ,2025-04-01

[6]

一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

郭红波 ;

李伟 ;

王林生 ;

吴庆勇 .

中国专利 :CN114411103A ,2022-04-29

[7]

一种高纯铬靶材及其制备方法 [P].

王作华 ;

张于胜 ;

王旭彪 ;

谢剑波 ;

刘未 ;

刘承泽 ;

吴金平 .

中国专利 :CN118668168B ,2025-01-21

[8]

一种高纯铬靶材及其制备方法 [P].

王作华 ;

张于胜 ;

王旭彪 ;

谢剑波 ;

刘未 ;

刘承泽 ;

吴金平 .

中国专利 :CN118668168A ,2024-09-20

[9]

一种高纯钨靶材制备及回收利用的方法 [P].

贾倩 ;

何金江 ;

敖景轩 ;

范宁 ;

华永乐 ;

丁照崇 .

中国专利 :CN120480199B ,2025-11-28

[10]

一种高纯铜靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN113817995A ,2021-12-21

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