化学气相沉积设备及成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711141218.9

申请日：

2017-11-14

公开(公告)号：

CN107937886A

公开(公告)日：

2018-04-20

发明(设计)人：

邢升阳

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室

IPC主分类号：

C23C16509

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-20	公开	公开
2018-05-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/509 申请日:20171114
2020-08-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/509 申请公布日:20180420

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备及成膜方法 [P].

谢锐 .

中国专利 :CN107779845A ,2018-03-09

[2]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[3]

化学气相沉积设备 [P].

黄章华 .

中国专利 :CN222795724U ,2025-04-25

[4]

化学气相沉积设备的安装方法及化学气相沉积设备 [P].

沈建飞 ;

徐皓 ;

潘雯海 ;

胡小栋 .

中国专利 :CN101994100A ,2011-03-30

[5]

化学气相沉积设备及方法 [P].

孙晓涵 ;

闫晓晖 ;

拉海忠 .

中国专利 :CN117448784A ,2024-01-26

[6]

化学气相沉积设备、泵浦衬套及化学气相沉积方法 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

李志聪 ;

邱云姿 ;

万昭宏 .

中国专利 :CN112501587A ,2021-03-16

[7]

化学气相沉积设备的气路结构及化学气相沉积设备 [P].

卢山 ;

陈神星 ;

姜鼎 ;

黄荣 .

中国专利 :CN216473473U ,2022-05-10

[8]

一种化学气相沉积设备和成膜方法 [P].

顾书林 ;

刘松民 ;

朱顺明 ;

叶建东 ;

汤琨 ;

郑有炓 .

中国专利 :CN111188027A ,2020-05-22

[9]

化学气相沉积载台结构及化学气相沉积设备 [P].

朱合意 ;

贾钊 ;

窦志珍 ;

胡恒广 .

中国专利 :CN222524669U ,2025-02-25

[10]

化学气相沉积设备 [P].

金昶成 ;

刘相德 ;

洪钟波 ;

沈智慧 ;

李元申 .

中国专利 :CN102230167A ,2011-11-02

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