一种化学气相沉积设备和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010088816.X

申请日：

2020-02-12

公开(公告)号：

CN111188027A

公开(公告)日：

2020-05-22

发明(设计)人：

顾书林刘松民朱顺明叶建东汤琨郑有炓

申请人：

申请人地址：

210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1650 C23C1634

代理机构：

南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249

代理人：

陈建和

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20200212
2020-05-22	公开	公开
2021-08-03	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备及成膜方法 [P].

谢锐 .

中国专利 :CN107779845A ,2018-03-09

[2]

化学气相沉积设备及成膜方法 [P].

邢升阳 .

中国专利 :CN107937886A ,2018-04-20

[3]

化学气相沉积设备 [P].

艾青南 ;

周贺 ;

胡青飞 .

中国专利 :CN103924217A ,2014-07-16

[4]

化学气相沉积设备和化学气相沉积设备的制作方法 [P].

张添水 .

中国专利 :CN117646188A ,2024-03-05

[5]

一种化学气相沉积设备 [P].

杨闰清 ;

韩子迦 ;

许灿 .

中国专利 :CN118256895A ,2024-06-28

[6]

化学气相沉积设备及方法 [P].

孙晓涵 ;

闫晓晖 ;

拉海忠 .

中国专利 :CN117448784A ,2024-01-26

[7]

一种化学气相沉积喷头及化学气相沉积设备 [P].

方鹏 .

中国专利 :CN223674737U ,2025-12-16

[8]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[9]

用于化学气相沉积设备的加热装置和化学气相沉积设备 [P].

麻鹏达 ;

薛运周 ;

鲁天豪 .

中国专利 :CN117512572A ,2024-02-06

[10]

化学气相沉积设备的安装方法及化学气相沉积设备 [P].

沈建飞 ;

徐皓 ;

潘雯海 ;

胡小栋 .

中国专利 :CN101994100A ,2011-03-30

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