化学气相沉积设备及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311423923.3

申请日：

2023-10-30

公开(公告)号：

CN117448784A

公开(公告)日：

2024-01-26

发明(设计)人：

孙晓涵闫晓晖拉海忠

申请人：

上海积塔半导体有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/52

代理机构：

上海隆天律师事务所 31282

代理人：

万铁占

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20231030
2024-01-26	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[2]

化学气相沉积设备 [P].

艾青南 ;

周贺 ;

胡青飞 .

中国专利 :CN103924217A ,2014-07-16

[3]

化学气相沉积设备 [P].

仰卫 .

中国专利 :CN107435141A ,2017-12-05

[4]

化学气相沉积设备 [P].

左敏 .

中国专利 :CN106435528A ,2017-02-22

[5]

化学气相沉积设备 [P].

张保龙 .

中国专利 :CN113584465A ,2021-11-02

[6]

化学气相沉积设备 [P].

许嘉麟 .

中国专利 :CN102373438A ,2012-03-14

[7]

化学气相沉积设备 [P].

左敏 .

中国专利 :CN206256165U ,2017-06-16

[8]

化学气相沉积设备的安装方法及化学气相沉积设备 [P].

沈建飞 ;

徐皓 ;

潘雯海 ;

胡小栋 .

中国专利 :CN101994100A ,2011-03-30

[9]

化学气相沉积设备、泵浦衬套及化学气相沉积方法 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

李志聪 ;

邱云姿 ;

万昭宏 .

中国专利 :CN112501587A ,2021-03-16

[10]

化学气相沉积设备的气路结构及化学气相沉积设备 [P].

卢山 ;

陈神星 ;

姜鼎 ;

黄荣 .

中国专利 :CN216473473U ,2022-05-10

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