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一种硅晶片生产装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620262900.8
申请日：
2016-03-31
公开(公告)号：
CN205688053U
公开(公告)日：
2016-11-16
发明(设计)人：
邹文龙
张力峰
田利中
白青松
梁会宁
申请人：
申请人地址：
215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村晶樱光电
IPC主分类号：
C30B1100
IPC分类号：
C30B2806
C30B2906
代理机构：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人：
汤东凤
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-12-08 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C30B 11/00 变更事项:专利权人 变更前:苏州晶樱光电科技有限公司 变更后:苏州晶樱光电科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村晶樱光电 变更后:215600 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村苏州晶樱光电科技股份有限公司 |
| 2022-03-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 11/00 申请日:20160331 授权公告日:20161116 终止日期:20210331 |
| 2016-11-16 | 授权 | 授权 |