用于纳米压印复合模板的复制装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420560206.5
申请日
2014-09-26
公开(公告)号
CN204129433U
公开(公告)日
2015-01-28
发明(设计)人
史晓华
申请人
申请人地址
215513 江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区(四海路11号)科创园2号楼102
IPC主分类号
G03F700
IPC分类号
B82Y1000 B82Y4000
代理机构
苏州华博知识产权代理有限公司 32232
代理人
魏亮芳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
用于纳米压印复合模板的复制装置 [P]. 
史晓华 .
中国专利 :CN105511224A ,2016-04-20
[2]
纳米压印复合模板 [P]. 
史晓华 ;
冀然 .
中国专利 :CN203025473U ,2013-06-26
[3]
纳米压印复合模板 [P]. 
罗刚 .
中国专利 :CN216449891U ,2022-05-06
[4]
用于纳米压印的复合结构模板 [P]. 
史晓华 ;
袁国华 ;
李其凡 .
中国专利 :CN222838344U ,2025-05-06
[5]
光刻胶纳米压印复合模板 [P]. 
史晓华 .
中国专利 :CN204287726U ,2015-04-22
[6]
纳米压印模板 [P]. 
尹广春 ;
A.克雷伯斯 ;
韩源 ;
罗龙 .
中国专利 :CN213601033U ,2021-07-02
[7]
一种复制纳米压印模板的方法 [P]. 
万景 ;
屈新萍 ;
谢申奇 ;
陆冰睿 ;
疏珍 ;
刘冉 ;
陈宜方 .
中国专利 :CN101135842B ,2008-03-05
[8]
一种复制纳米压印模板的方法 [P]. 
万景 ;
屈新萍 ;
谢申奇 ;
陆冰睿 ;
疏珍 ;
刘冉 ;
陈宜方 .
中国专利 :CN101181836A ,2008-05-21
[9]
纳米压印软模板制备装置 [P]. 
宋崇顺 ;
史晓华 .
中国专利 :CN205353570U ,2016-06-29
[10]
高硬度纳米压印软膜复合模板 [P]. 
史晓华 .
中国专利 :CN203630508U ,2014-06-04