用于纳米压印复合模板的复制装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410504557.9

申请日：

2014-09-26

公开(公告)号：

CN105511224A

公开(公告)日：

2016-04-20

发明(设计)人：

史晓华

申请人：

申请人地址：

215513 江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区（四海路11号）科创园2号楼102

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

B82Y1000 B82Y4000

代理机构：

苏州华博知识产权代理有限公司 32232

代理人：

魏亮芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101660911680 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2014105045579 申请日:20140926
2016-04-20	公开	公开

共 50 条

[1]

用于纳米压印复合模板的复制装置 [P].

史晓华 .

中国专利 :CN204129433U ,2015-01-28

[2]

纳米压印复合模板 [P].

史晓华 ;

冀然 .

中国专利 :CN203025473U ,2013-06-26

[3]

纳米压印复合模板 [P].

罗刚 .

中国专利 :CN216449891U ,2022-05-06

[4]

用于纳米压印的复合结构模板 [P].

史晓华 ;

袁国华 ;

李其凡 .

中国专利 :CN222838344U ,2025-05-06

[5]

一种复制纳米压印模板的方法 [P].

万景 ;

屈新萍 ;

谢申奇 ;

陆冰睿 ;

疏珍 ;

刘冉 ;

陈宜方 .

中国专利 :CN101135842B ,2008-03-05

[6]

一种复制纳米压印模板的方法 [P].

万景 ;

屈新萍 ;

谢申奇 ;

陆冰睿 ;

疏珍 ;

刘冉 ;

陈宜方 .

中国专利 :CN101181836A ,2008-05-21

[7]

纳米压印模板、纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

侯俊 ;

李冬泽 ;

李佳育 .

中国专利 :CN109085738A ,2018-12-25

[8]

纳米压印复合模板、组件及系统 [P].

李大元 ;

刘超 ;

刘泽 .

中国专利 :CN117492322A ,2024-02-02

[9]

纳米压印复合模板及其制备方法 [P].

史晓华 ;

冀然 .

中国专利 :CN102955357A ,2013-03-06

[10]

光刻胶纳米压印复合模板 [P].

史晓华 .

中国专利 :CN204287726U ,2015-04-22

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