一种亚纳米级离子束抛光设备及抛光方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610789776.5
申请日
2016-08-31
公开(公告)号
CN106181594A
公开(公告)日
2016-12-07
发明(设计)人
刁克明
申请人
申请人地址
100071 北京市丰台区小屯路150号
IPC主分类号
B24B100
IPC分类号
代理机构
北京格允知识产权代理有限公司 11609
代理人
周娇娇;谭辉
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种亚纳米级离子束抛光设备 [P]. 
刁克明 .
中国专利 :CN206066090U ,2017-04-05
[2]
离子束抛光设备及应用其的离子束抛光方法 [P]. 
吴丽翔 ;
邱克强 ;
曾思为 ;
付绍军 .
中国专利 :CN104907894A ,2015-09-16
[3]
离子束抛光设备 [P]. 
吴丽翔 ;
邱克强 ;
曾思为 ;
付绍军 .
中国专利 :CN204771859U ,2015-11-18
[4]
一种离子束抛光设备 [P]. 
常洪兴 ;
徐胜 .
中国专利 :CN210549947U ,2020-05-19
[5]
一种离子束抛光装备 [P]. 
张松林 .
中国专利 :CN222767939U ,2025-04-18
[6]
一种离子束抛光装置 [P]. 
黄贺 ;
张瀛怀 ;
房圣桃 ;
李鑫 ;
梁棋翔 ;
张健 ;
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[7]
双真空室离子束抛光系统及抛光方法 [P]. 
周林 ;
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袁征 ;
解旭辉 ;
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[8]
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[9]
一种离子束抛光机的可调支撑结构及离子束抛光机 [P]. 
李文坚 .
中国专利 :CN117484387A ,2024-02-02
[10]
一种非球面离子束抛光方法 [P]. 
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刘卫国 ;
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张进 ;
陈鹏 .
中国专利 :CN114273986A ,2022-04-05