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曝光机曝光计数装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821351734.4
申请日：
2018-08-21
公开(公告)号：
CN208705658U
公开(公告)日：
2019-04-05
发明(设计)人：
张仁德
廖闪新
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙四东宝工业区第H栋、第G栋一楼、二楼203室、三楼
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
深圳市中智立信知识产权代理有限公司 44427
代理人：
梁韬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-05 | 授权 | 授权 |