一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922245967.7

申请日：

2019-12-16

公开(公告)号：

CN211170857U

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

徐根保刘林张宽翔王昌华王宝玉蒋继文

申请人：

申请人地址：

233010 安徽省蚌埠市高新区燕南路1001号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113

代理人：

陈俊

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置 [P].

徐根保 ;

刘林 ;

张宽翔 ;

王昌华 ;

王宝玉 ;

蒋继文 .

中国专利 :CN110819945A ,2020-02-21

[2]

一种用于蒸发镀膜的蒸发源引导机构和蒸发镀膜装置 [P].

臧世伟 ;

王超 .

中国专利 :CN222008002U ,2024-11-15

[3]

蒸发源装置及蒸发镀膜设备 [P].

李建 .

中国专利 :CN206438173U ,2017-08-25

[4]

薄膜太阳能蒸发镀膜设备的腔体 [P].

瞿建强 ;

钱拥军 .

中国专利 :CN210030873U ,2020-02-07

[5]

一种蒸发源组件和蒸发镀膜设备 [P].

李梦洁 ;

熊继光 ;

赵志国 ;

赵东明 ;

秦校军 ;

冯笑丹 ;

刘家梁 ;

李新连 ;

张赟 .

中国专利 :CN215925055U ,2022-03-01

[6]

多蒸发源镀膜装置 [P].

李刚正 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN205774776U ,2016-12-07

[7]

一种蒸发源加热装置及其蒸发源 [P].

曹景博 ;

张红信 .

中国专利 :CN221421204U ,2024-07-26

[8]

热蒸发镀膜设备的热蒸发源 [P].

张撷秋 ;

肖旭东 ;

陈旺寿 ;

宋建军 ;

刘壮 ;

顾光一 ;

杨春雷 .

中国专利 :CN102994958B ,2013-03-27

[9]

一种镀膜材料的蒸发源结构 [P].

薛聪颖 ;

虞润淋 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN215251126U ,2021-12-21

[10]

一种真空中板材蒸发镀膜用的蒸发源装置 [P].

庞胜忠 .

中国专利 :CN221071631U ,2024-06-04

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