一种真空中板材蒸发镀膜用的蒸发源装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322482390.8

申请日：

2023-09-13

公开(公告)号：

CN221071631U

公开(公告)日：

2024-06-04

发明(设计)人：

庞胜忠

申请人：

浙江航威专用设备有限公司

申请人地址：

314023 浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇塘濮路455号3号楼1层

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/56

代理机构：

嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253

代理人：

陈宇航

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省嘉兴市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸发源装置及蒸发镀膜设备 [P].

李建 .

中国专利 :CN206438173U ,2017-08-25

[2]

一种用于蒸发镀膜的蒸发源引导机构和蒸发镀膜装置 [P].

臧世伟 ;

王超 .

中国专利 :CN222008002U ,2024-11-15

[3]

一种镀膜蒸发源及应用该蒸发源的真空镀膜机 [P].

张星 ;

孙昂 .

中国专利 :CN204080096U ,2015-01-07

[4]

一种蒸发源组件和蒸发镀膜设备 [P].

李梦洁 ;

熊继光 ;

赵志国 ;

赵东明 ;

秦校军 ;

冯笑丹 ;

刘家梁 ;

李新连 ;

张赟 .

中国专利 :CN215925055U ,2022-03-01

[5]

多蒸发源镀膜装置 [P].

李刚正 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN205774776U ,2016-12-07

[6]

真空遮挡装置、蒸发源系统、蒸发镀膜系统及方法 [P].

陈飞 ;

谢斌平 ;

王天邻 ;

杨贺鸣 .

中国专利 :CN114645320A ,2022-06-21

[7]

蒸发源和真空镀膜系统 [P].

孔德兴 .

中国专利 :CN206872929U ,2018-01-12

[8]

热蒸发镀膜设备的热蒸发源 [P].

张撷秋 ;

肖旭东 ;

陈旺寿 ;

宋建军 ;

刘壮 ;

顾光一 ;

杨春雷 .

中国专利 :CN102994958B ,2013-03-27

[9]

一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置 [P].

徐根保 ;

刘林 ;

张宽翔 ;

王昌华 ;

王宝玉 ;

蒋继文 .

中国专利 :CN211170857U ,2020-08-04

[10]

一种蒸发源结构及真空镀膜装置 [P].

王伟 ;

张扬 ;

常杰 .

中国专利 :CN207031533U ,2018-02-23

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