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光学元件、包括该光学元件的光刻设备、器件制造方法以及所制造的器件

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200980106463.3
申请日：
2009-02-24
公开(公告)号：
CN101960338B
公开(公告)日：
2011-01-26
发明(设计)人：
W·A·索尔 V·Y·班尼恩 J·H·J·莫尔斯 M·M·J·W·范赫彭 A·M·亚库林
申请人：
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G02B520
IPC分类号：
G02B522 G02B526 G03F720 G21K106 G02B508
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
王波波
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2011-04-20 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101063888909 IPC(主分类):G02B 5/20 专利申请号:2009801064633 申请日:20090224
2013-01-09 授权 授权
2011-01-26 公开 公开
共 50 条
[1]
光学元件、包括该光学元件的光刻设备、器件制造方法以及所制造的器件 [P]. 
W·A·索尔 ;
V·Y·班尼恩 ;
J·H·J·莫尔斯 ;
M·M·J·W·范赫彭 ;
A·M·亚库林 .
中国专利 :CN102981201B ,2013-03-20
[2]
光学元件、包括这种光学元件的光刻设备及器件制造方法 [P]. 
L·P·巴克 .
中国专利 :CN100498531C ,2005-05-11
[3]
用于光刻设备的光学元件、包括这种光学元件的光刻设备以及制造该光学元件的方法 [P]. 
L·斯基马恩奥克 ;
V·班尼恩 ;
R·莫尔斯 ;
D·克鲁什考沃 ;
A·M·雅库尼恩 .
中国专利 :CN102089713B ,2011-06-08
[4]
光学元件，包括该光学元件的光刻装置以及设备制造方法 [P]. 
L·P·巴克 .
中国专利 :CN1648776A ,2005-08-03
[5]
光学元件、光学器件以及制造光学元件的方法 [P]. 
南条卓也 ;
中西哲也 .
中国专利 :CN109143473A ,2019-01-04
[6]
具有抛光层的光学元件、包括该光学元件的光刻设备以及用于制造该光学元件的方法 [P]. 
E·艾娃 .
德国专利 :CN120584308A ,2025-09-02
[7]
光学元件、发光器件、以及制造光学元件的方法 [P]. 
毛塚浩一郎 ;
佐佐木裕人 .
中国专利 :CN1552115A ,2004-12-01
[8]
光刻装置，器件制造方法和光学元件的制造方法 [P]. 
W·J·波克斯 .
中国专利 :CN1448795A ,2003-10-15
[9]
光学元件、包括这种光学元件的组件以及制造光学元件的方法 [P]. 
L·沙班 ;
X·比尔泰 ;
G·肖特 .
法国专利 :CN110770008B ,2025-10-31
[10]
光学元件、包括这种光学元件的组件以及制造光学元件的方法 [P]. 
L·沙班 ;
X·比尔泰 ;
G·肖特 .
中国专利 :CN110770008A ,2020-02-07
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