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光学元件、包括这种光学元件的光刻设备及器件制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200410092233.5
申请日：
2004-11-05
公开(公告)号：
CN100498531C
公开(公告)日：
2005-05-11
发明(设计)人：
L·P·巴克
申请人：
申请人地址：
荷兰维尔德霍芬
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
H01L2100 G02B500 G02B300
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人：
王波波
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2009-06-10 授权 授权
2014-12-31 专利权的终止 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101593357706 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2004100922335 申请日:20041105 授权公告日:20090610 终止日期:20131105
2005-05-11 公开 公开
2006-07-26 实质审查的生效 实质审查的生效
共 50 条
[1]
用于光刻设备的光学元件、包括这种光学元件的光刻设备以及制造该光学元件的方法 [P]. 
L·斯基马恩奥克 ;
V·班尼恩 ;
R·莫尔斯 ;
D·克鲁什考沃 ;
A·M·雅库尼恩 .
中国专利 :CN102089713B ,2011-06-08
[2]
光学元件、包括该光学元件的光刻设备、器件制造方法以及所制造的器件 [P]. 
W·A·索尔 ;
V·Y·班尼恩 ;
J·H·J·莫尔斯 ;
M·M·J·W·范赫彭 ;
A·M·亚库林 .
中国专利 :CN101960338B ,2011-01-26
[3]
光学元件、包括该光学元件的光刻设备、器件制造方法以及所制造的器件 [P]. 
W·A·索尔 ;
V·Y·班尼恩 ;
J·H·J·莫尔斯 ;
M·M·J·W·范赫彭 ;
A·M·亚库林 .
中国专利 :CN102981201B ,2013-03-20
[4]
光学元件，包括该光学元件的光刻装置以及设备制造方法 [P]. 
L·P·巴克 .
中国专利 :CN1648776A ,2005-08-03
[5]
光学元件、包括这种光学元件的组件以及制造光学元件的方法 [P]. 
L·沙班 ;
X·比尔泰 ;
G·肖特 .
法国专利 :CN110770008B ,2025-10-31
[6]
光学元件、包括这种光学元件的组件以及制造光学元件的方法 [P]. 
L·沙班 ;
X·比尔泰 ;
G·肖特 .
中国专利 :CN110770008A ,2020-02-07
[7]
具有抛光层的光学元件、包括该光学元件的光刻设备以及用于制造该光学元件的方法 [P]. 
E·艾娃 .
德国专利 :CN120584308A ,2025-09-02
[8]
光学元件、光学器件以及制造光学元件的方法 [P]. 
南条卓也 ;
中西哲也 .
中国专利 :CN109143473A ,2019-01-04
[9]
光学元件制造方法、光学元件制造设备和光学元件 [P]. 
荣羽范子 ;
渡边清一 ;
吉冈将人 .
中国专利 :CN101657320A ,2010-02-24
[10]
光学元件、制造这种光学元件的方法、以及对齐光束与这种光学元件的方法 [P]. 
R·J·M·沃勒斯 .
中国专利 :CN1685263A ,2005-10-19
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