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光学元件，包括该光学元件的光刻装置以及设备制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200510051841.6
申请日：
2005-01-20
公开(公告)号：
CN1648776A
公开(公告)日：
2005-08-03
发明(设计)人：
L·P·巴克
申请人：
申请人地址：
荷兰维尔德霍芬
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
H01L21027
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张雪梅;陈景峻
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2006-10-11 实质审查的生效 实质审查的生效
2005-08-03 公开 公开
2010-08-11 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003936698 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2005100518416 公开日:20050803
共 50 条
[1]
用于光刻设备的光学元件、包括这种光学元件的光刻设备以及制造该光学元件的方法 [P]. 
L·斯基马恩奥克 ;
V·班尼恩 ;
R·莫尔斯 ;
D·克鲁什考沃 ;
A·M·雅库尼恩 .
中国专利 :CN102089713B ,2011-06-08
[2]
具有抛光层的光学元件、包括该光学元件的光刻设备以及用于制造该光学元件的方法 [P]. 
E·艾娃 .
德国专利 :CN120584308A ,2025-09-02
[3]
光学元件、包括该光学元件的光刻设备、器件制造方法以及所制造的器件 [P]. 
W·A·索尔 ;
V·Y·班尼恩 ;
J·H·J·莫尔斯 ;
M·M·J·W·范赫彭 ;
A·M·亚库林 .
中国专利 :CN101960338B ,2011-01-26
[4]
光学元件、包括该光学元件的光刻设备、器件制造方法以及所制造的器件 [P]. 
W·A·索尔 ;
V·Y·班尼恩 ;
J·H·J·莫尔斯 ;
M·M·J·W·范赫彭 ;
A·M·亚库林 .
中国专利 :CN102981201B ,2013-03-20
[5]
光学元件、包括这种光学元件的光刻设备及器件制造方法 [P]. 
L·P·巴克 .
中国专利 :CN100498531C ,2005-05-11
[6]
光学元件以及包括该光学元件的光源 [P]. 
李蕴 .
中国专利 :CN201779598U ,2011-03-30
[7]
光学元件、包括这种光学元件的组件以及制造光学元件的方法 [P]. 
L·沙班 ;
X·比尔泰 ;
G·肖特 .
法国专利 :CN110770008B ,2025-10-31
[8]
光学元件、包括这种光学元件的组件以及制造光学元件的方法 [P]. 
L·沙班 ;
X·比尔泰 ;
G·肖特 .
中国专利 :CN110770008A ,2020-02-07
[9]
光学元件制造方法以及光学元件制造装置 [P]. 
本司大典 .
中国专利 :CN102884013B ,2014-12-24
[10]
光学元件、该光学元件的连接方法及包括该光学元件的光学模组 [P]. 
耕田浩 .
中国专利 :CN100476474C ,2006-02-22
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