金属互连结构及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910907161.1

申请日：

2019-09-24

公开(公告)号：

CN111463168A

公开(公告)日：

2020-07-28

发明(设计)人：

金志勲金玄永徐康元

申请人：

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334

代理人：

彭辉剑;龚慧惠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20190924
2020-07-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种金属互连结构的制备方法 [P].

赵红英 .

中国专利 :CN108389797A ,2018-08-10

[2]

互连结构 [P].

陈彥瑜 ;

程仲良 ;

邱盈翰 .

中国专利 :CN223612423U ,2025-11-28

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

卢克·比兰格尔 ;

斯蒂芬·L.·布奇沃尔特 ;

利纳·P.·布奇沃尔特 ;

阿贾伊·P.·吉利 ;

乔纳森·H·格里菲思 ;

唐纳德·W.·亨德森 ;

康圣权 ;

埃里克·H.·莱内 ;

克里斯蒂·拉沃伊 ;

鲍尔·A·劳罗 ;

瓦莱里·A.·奥伯森 ;

史达原 ;

卡马列什·K.·斯里瓦斯塔瓦 ;

迈克尔·J.·萨利文 .

中国专利 :CN101211878B ,2008-07-02

[4]

形成互连结构的方法 [P].

V·普拉亚斯 ;

周俭 ;

K·欧哈马 .

美国专利 :CN119816937A ,2025-04-11

[5]

铜互连结构的制作方法 [P].

彭冰清 .

中国专利 :CN102881633B ,2013-01-16

[6]

一种制作铜互连结构的方法 [P].

王冬江 ;

胡敏达 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103311174A ,2013-09-18

[7]

集成电路中互连结构的制作方法 [P].

康芸 ;

何伟业 ;

杨瑞鹏 ;

聂佳相 .

中国专利 :CN101645412A ,2010-02-10

[8]

在衬底上形成金属互连的方法 [P].

陈岭 ;

仲华 ;

肖恩·M·瑟特尔 ;

迈克尔·X·杨 ;

奚明 ;

文森特·库 ;

吴典晔 ;

艾伦·乌业 ;

诺曼·纳卡希玛 ;

巴里·金 ;

张弘 .

中国专利 :CN100524692C ,2008-05-07

[9]

半导体器件的金属互连形成方法 [P].

金昇炫 .

中国专利 :CN100533725C ,2006-08-16

[10]

锂金属负极及其制备方法以及锂金属电池 [P].

康丹苗 ;

塞达塞杜 ;

许静 ;

高凖浩 ;

马浩初 ;

梁文斌 ;

苏志江 .

中国专利 :CN115394958A ,2022-11-25

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