用于金属的化学机械抛光的浆料组合物以及使用其的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880111053.3

申请日：

2008-01-21

公开(公告)号：

CN101821354A

公开(公告)日：

2010-09-01

发明(设计)人：

周霍摩金元来卢钟一李仁庆李泰永

申请人：

申请人地址：

韩国庆尚北道

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

吴贵明;张英

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-01	公开	公开
2014-07-02	授权	授权
2010-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101009083892 IPC(主分类):C09K 3/14 专利申请号:2008801110533 申请日:20080121

共 50 条

[1]

化学机械抛光用浆料以及使用其的基板的抛光方法 [P].

竹越穣 ;

加藤充 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

中国专利 :CN102666760B ,2012-09-12

[2]

化学机械抛光组合物及使用其的化学机械抛光方法 [P].

北村启 ;

并木明久 ;

增田刚 ;

松村义之 .

中国专利 :CN114829521A ,2022-07-29

[3]

化学机械抛光组合物及使用其的化学机械抛光方法 [P].

北村启 ;

并木明久 ;

增田刚 ;

松村义之 .

日本专利 :CN114829521B ,2024-04-09

[4]

用于化学机械抛光的浆料组合物及抛光方法 [P].

李泰永 ;

李仁庆 ;

崔炳镐 ;

朴容淳 .

中国专利 :CN101333421A ,2008-12-31

[5]

用于化学机械抛光的浆料组合物及抛光方法 [P].

李泰永 ;

李仁庆 ;

崔炳镐 ;

朴容淳 .

中国专利 :CN101333420A ,2008-12-31

[6]

用于化学机械抛光的浆料组合物 [P].

黄珍淑 ;

孔铉九 ;

黄寅卨 .

中国专利 :CN113308197A ,2021-08-27

[7]

用于化学机械抛光的浆料组合物 [P].

朴惠贞 ;

金宰贤 ;

朴锺大 ;

李敏键 ;

申宗哲 ;

陈成勋 .

中国专利 :CN109153889B ,2019-01-04

[8]

用于化学机械抛光的浆料组合物 [P].

朴尚铉 ;

李晓山 ;

许元己 ;

金廷润 ;

黄晙夏 ;

权昌吉 ;

李性表 .

中国专利 :CN110872473A ,2020-03-10

[9]

用于化学机械抛光的浆料组合物 [P].

文斗植 ;

朴尚铉 ;

尹普彦 ;

金镐永 ;

朴世廷 ;

李载鹤 ;

黄珍明 .

中国专利 :CN108690505A ,2018-10-23

[10]

化学机械抛光浆料和使用该浆料的化学机械抛光方法 [P].

李在东 ;

尹普彦 ;

韩镛弼 .

中国专利 :CN1288722C ,2003-09-10

← 1 2 3 4 5 →