晶圆清洗装置及利用该晶圆清洗装置清洗晶圆的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110001269.8

申请日：

2011-01-05

公开(公告)号：

CN102129959A

公开(公告)日：

2011-07-20

发明(设计)人：

路新春潘燕沈攀梅赫赓赵德文王同庆何永勇

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084-82信箱

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

B08B308

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

宋合成

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-20	公开	公开
2011-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101102907986 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2011100012698 申请日:20110105
2013-09-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101656466645 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2011100012698 申请公布日:20110720

共 50 条

[1]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[2]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

刘佳奇 ;

姚零一 .

中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30

[3]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

汪子文 ;

张利 ;

李名浩 ;

魏星 ;

李炜 .

中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05

[4]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[5]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

史进 .

中国专利 :CN109994372A ,2019-07-09

[6]

晶圆清洗装置及清洗晶圆的方法 [P].

吕庚陆 .

中国专利 :CN114649233A ,2022-06-21

[7]

晶圆清洗装置及清洗晶圆的方法 [P].

吕庚陆 .

中国专利 :CN114649233B ,2025-08-22

[8]

晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112233996A ,2021-01-15

[9]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN112974324B ,2021-06-18

[10]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

马玲 ;

韦亚一 ;

徐步青 ;

董立松 .

中国专利 :CN108649006B ,2018-10-12

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