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快速热退火装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210018609.2
申请日：
2012-01-20
公开(公告)号：
CN103215650A
公开(公告)日：
2013-07-24
发明(设计)人：
蒋猛
刘志强
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新区长江南路17－6
IPC主分类号：
C30B3302
IPC分类号：
H01L21324
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
俞华梁;王忠忠
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-07-24 | 公开 | 公开 |
| 2015-09-02 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101720251265 IPC(主分类):C30B 33/02 专利申请号:2012100186092 申请公布日:20130724 |