快速热退火方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210147217.6

申请日：

2012-05-11

公开(公告)号：

CN103390553B

公开(公告)日：

2013-11-13

发明(设计)人：

苏小鹏谭秀文

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

邓云鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101550376954 IPC(主分类):H01L 21/324 专利申请号:2012101472176 申请日:20120511
2016-08-03	授权	授权
2013-11-13	公开	公开

共 50 条

[1]

快速热退火方法 [P].

周祖源 ;

孟昭生 .

中国专利 :CN102560682A ,2012-07-11

[2]

快速热退火方法 [P].

周祖源 .

中国专利 :CN102560025B ,2012-07-11

[3]

快速热退火方法 [P].

范世炜 ;

张凌越 .

中国专利 :CN108091565B ,2018-05-29

[4]

快速热退火方法 [P].

王曼 ;

崔国东 ;

苏小鹏 .

中国专利 :CN103515192A ,2014-01-15

[5]

快速热退火的方法 [P].

张耀元 ;

周世良 ;

李若玺 ;

林宗德 ;

曾国佑 ;

练文政 .

中国专利 :CN1548591A ,2004-11-24

[6]

快速热退火机 [P].

黄奔 .

中国专利 :CN107256841B ,2017-10-17

[7]

快速热退火装置 [P].

蒋猛 ;

刘志强 .

中国专利 :CN103215650A ,2013-07-24

[8]

快速热退火设备 [P].

李贇佳 ;

袁立军 .

中国专利 :CN111816594B ,2020-10-23

[9]

使用热退火设备进行快速热退火工艺的方法 [P].

肖东辉 .

中国专利 :CN106548961B ,2017-03-29

[10]

监控低温快速热退火工艺的方法 [P].

江瑞星 .

中国专利 :CN1303225C ,2005-10-05

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