快速热退火机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710400260.1

申请日：

2017-05-31

公开(公告)号：

CN107256841B

公开(公告)日：

2017-10-17

发明(设计)人：

黄奔

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-03	授权	授权
2017-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170531
2017-10-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种快速热退火机台 [P].

杨亮 ;

安礼余 ;

胡良宝 .

中国专利 :CN201523000U ,2010-07-07

[2]

一种快速热退火机台 [P].

石志平 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207250471U ,2018-04-17

[3]

快速热退火方法 [P].

苏小鹏 ;

谭秀文 .

中国专利 :CN103390553B ,2013-11-13

[4]

快速热退火方法 [P].

周祖源 ;

孟昭生 .

中国专利 :CN102560682A ,2012-07-11

[5]

快速热退火方法 [P].

周祖源 .

中国专利 :CN102560025B ,2012-07-11

[6]

快速热退火方法 [P].

范世炜 ;

张凌越 .

中国专利 :CN108091565B ,2018-05-29

[7]

快速热退火方法 [P].

王曼 ;

崔国东 ;

苏小鹏 .

中国专利 :CN103515192A ,2014-01-15

[8]

快速热退火装置 [P].

蒋猛 ;

刘志强 .

中国专利 :CN103215650A ,2013-07-24

[9]

快速热退火设备 [P].

李贇佳 ;

袁立军 .

中国专利 :CN111816594B ,2020-10-23

[10]

一种快速热退火机台搬送装置 [P].

宋皓 ;

赖朝荣 ;

苏俊铭 ;

张旭升 .

中国专利 :CN203774272U ,2014-08-13

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