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一种快速热退火机台

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721312561.0
申请日：
2017-10-11
公开(公告)号：
CN207250471U
公开(公告)日：
2018-04-17
发明(设计)人：
石志平 吴宗祐 林宗贤
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-04-17 授权 授权
共 50 条
[1]
一种快速热退火机台 [P]. 
杨亮 ;
安礼余 ;
胡良宝 .
中国专利 :CN201523000U ,2010-07-07
[2]
一种快速热退火机台搬送装置 [P]. 
宋皓 ;
赖朝荣 ;
苏俊铭 ;
张旭升 .
中国专利 :CN203774272U ,2014-08-13
[3]
快速热退火机 [P]. 
黄奔 .
中国专利 :CN107256841B ,2017-10-17
[4]
快速热退火防飞片机台 [P]. 
曹旭东 ;
邢猛 ;
刘芹安 .
中国专利 :CN223539586U ,2025-11-11
[5]
一种快速热退火装置 [P]. 
李赟佳 ;
赖朝荣 ;
苏俊铭 .
中国专利 :CN204088267U ,2015-01-07
[6]
尖峰退火加热装置及尖峰退火机台 [P]. 
罗承先 .
中国专利 :CN212750823U ,2021-03-19
[7]
晶圆装载系统、快速热退火工艺机台、半导体设备 [P]. 
高帅 ;
李大川 ;
焦圣杰 .
中国专利 :CN222421938U ,2025-01-28
[8]
一种热弯玻璃退火机构 [P]. 
陈晓聪 ;
李亮福 ;
黄超 ;
杨宣保 ;
陈明 .
中国专利 :CN207749045U ,2018-08-21
[9]
一种快速热退火装置 [P]. 
王涛 .
中国专利 :CN118712105A ,2024-09-27
[10]
一种快速热退火装置 [P]. 
王涛 .
中国专利 :CN118712105B ,2025-02-14
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