一种快速热退火机台搬送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420134663.8

申请日：

2014-03-24

公开(公告)号：

CN203774272U

公开(公告)日：

2014-08-13

发明(设计)人：

宋皓赖朝荣苏俊铭张旭升

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种快速热退火机台 [P].

杨亮 ;

安礼余 ;

胡良宝 .

中国专利 :CN201523000U ,2010-07-07

[2]

一种快速热退火机台 [P].

石志平 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207250471U ,2018-04-17

[3]

快速热退火机 [P].

黄奔 .

中国专利 :CN107256841B ,2017-10-17

[4]

快速热退火防飞片机台 [P].

曹旭东 ;

邢猛 ;

刘芹安 .

中国专利 :CN223539586U ,2025-11-11

[5]

一种快速热退火装置 [P].

李赟佳 ;

赖朝荣 ;

苏俊铭 .

中国专利 :CN204088267U ,2015-01-07

[6]

尖峰退火加热装置及尖峰退火机台 [P].

罗承先 .

中国专利 :CN212750823U ,2021-03-19

[7]

退火机自动送线装置 [P].

赵林强 .

中国专利 :CN202796249U ,2013-03-13

[8]

一种快速热退火装置 [P].

王涛 .

中国专利 :CN118712105A ,2024-09-27

[9]

一种快速热退火装置 [P].

王涛 .

中国专利 :CN118712105B ,2025-02-14

[10]

快速热退火装置 [P].

蒋猛 ;

刘志强 .

中国专利 :CN103215650A ,2013-07-24

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