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用于CVD反应器的基座

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880030069.5
申请日：
2018-03-06
公开(公告)号：
CN110603344A
公开(公告)日：
2019-12-20
发明(设计)人：
O.舍恩 F.鲁达威特 M.沙夫拉特
申请人：
申请人地址：
德国黑措根拉特
IPC主分类号：
C23C16458
IPC分类号：
C23C1646
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
彭程
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-03-20 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20180306
2019-12-20 公开 公开
共 50 条
[1]
用于CVD反应器的基座 [P]. 
W.J.T.克鲁肯 .
德国专利 :CN115298351B ,2025-07-22
[2]
用于CVD反应器的基座 [P]. 
D.克莱森斯 ;
A.博伊德 ;
J.奥多德 ;
O.费龙 .
中国专利 :CN109890998B ,2019-06-14
[3]
CVD反应器的基座 [P]. 
W.J.T.克鲁肯 ;
P.S.劳弗 .
德国专利 :CN113383110B ,2024-05-14
[4]
CVD反应器的基座 [P]. 
W.J.T.克鲁肯 ;
P.S.劳弗 .
中国专利 :CN113383110A ,2021-09-10
[5]
用于CVD反应器的基座的加热装置 [P]. 
H.蒋 ;
F.M.A.克劳利 .
德国专利 :CN113840944B ,2024-06-11
[6]
用于CVD反应器的基座的加热装置 [P]. 
H.蒋 ;
F.M.A.克劳利 .
中国专利 :CN113840944A ,2021-12-24
[7]
用于加热CVD反应器的基座的设备 [P]. 
P-A.伯丁 ;
K.艾伦 .
中国专利 :CN204162787U ,2015-02-18
[8]
用于加热CVD反应器的基座的设备 [P]. 
P-A.伯丁 ;
M.E.奥彭 ;
K.艾伦 ;
F.M.A.克劳利 .
中国专利 :CN204162789U ,2015-02-18
[9]
用于CVD反应器的基座的加热装置 [P]. 
P-A.伯丁 ;
K.艾伦 .
中国专利 :CN104674195B ,2015-06-03
[10]
CVD反应器和用于CVD反应器的基板支架 [P]. 
A.博伊德 ;
D.克莱森斯 ;
H.希尔瓦 .
中国专利 :CN104053816A ,2014-09-17
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