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用于加热CVD反应器的基座的设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201420247512.3
申请日：
2014-05-14
公开(公告)号：
CN204162789U
公开(公告)日：
2015-02-18
发明(设计)人：
P-A.伯丁 M.E.奥彭 K.艾伦 F.M.A.克劳利
申请人：
申请人地址：
德国黑措根拉特
IPC主分类号：
C23C1646
IPC分类号：
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
侯宇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2015-02-18 授权 授权
共 50 条
[1]
用于加热CVD反应器的基座的设备 [P]. 
P-A.伯丁 ;
K.艾伦 .
中国专利 :CN204162787U ,2015-02-18
[2]
用于CVD反应器的基座的加热装置 [P]. 
P-A.伯丁 ;
K.艾伦 .
中国专利 :CN104674195B ,2015-06-03
[3]
用于CVD反应器的基座的加热装置 [P]. 
H.蒋 ;
F.M.A.克劳利 .
德国专利 :CN113840944B ,2024-06-11
[4]
用于CVD反应器的基座的加热装置 [P]. 
H.蒋 ;
F.M.A.克劳利 .
中国专利 :CN113840944A ,2021-12-24
[5]
用于CVD反应器的基座 [P]. 
W.J.T.克鲁肯 .
德国专利 :CN115298351B ,2025-07-22
[6]
用于CVD反应器的基座 [P]. 
D.克莱森斯 ;
A.博伊德 ;
J.奥多德 ;
O.费龙 .
中国专利 :CN109890998B ,2019-06-14
[7]
用于CVD反应器的基座 [P]. 
O.舍恩 ;
F.鲁达威特 ;
M.沙夫拉特 .
中国专利 :CN110603344A ,2019-12-20
[8]
CVD反应器的基座 [P]. 
W.J.T.克鲁肯 ;
P.S.劳弗 .
德国专利 :CN113383110B ,2024-05-14
[9]
CVD反应器的基座 [P]. 
W.J.T.克鲁肯 ;
P.S.劳弗 .
中国专利 :CN113383110A ,2021-09-10
[10]
CVD反应器的加热机构上的支撑件和连接件 [P]. 
P-A.伯丁 ;
M.E.奥彭 ;
K.艾伦 ;
F.M.A.克劳利 .
中国专利 :CN104674194B ,2015-06-03
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